MOCVD加热器用中圈加热片

产品介绍

钨是稀有高熔点金属，高温强度和抗蠕变性能以及导热、导电和电子发射性能都很好。纯钨产品纯度可达到99.97%以上，密度可达19.35 g/ cm³，为理论密度的99.9%。

通过对纯钨材质进行合金化处理，可以有效的提升钨材料的高温抗蠕变性能，更好的应用于加热片。

产品应用

外延设备MOCVD半导体层需要尽可能的发出相同波长的光芒。而达到这一目标的一项重要条件是在MOVCD系统中实现均匀的温度分配。温度剖面中的任何差异都会在随后发光时导致变色。我们的工程师通过复杂的有限元计算模拟了各个系统的MOVCD工艺并对自己生产的加热元件做出了相应改进，新型元件能够在反应器中提供更加均匀的温度分配。

MOCVD加热器中，外圈加热片被加热至超过2000℃，要保证加热片超长的使用寿命，安泰研发了新型合金材料来提高加热片的高温抗蠕变性能，长周期使用几乎不变形，还研发出了安泰特殊工艺的涂层技术，达到增大加热片表面粗糙度的效果，增加表面发射率，降低工作温度，最终实现增加使用寿命的目的。