MOCVD加热器用导电板

产品介绍

电话安泰天龙 MOCVD 加热器用导电板产品是依托央企中国钢研科技集团六十年难熔金属技术积累，专为金属有机化学气相沉积（MOCVD）设备研发的核心部件，广泛应用于 LED 芯片、功率半导体等高端半导体材料的外延生长工艺。其核心功能是通过高效导电与精准温控，确保反应腔内电流传输稳定及温度均匀性，直接影响薄膜沉积的一致性与器件良率。

在性能表现上，导电板通过优化的螺旋式加热片设计，配合钼电极臂与隔热屏的协同作用，可实现反应腔内温度均匀性 ±1.5℃，较传统设计提升 30%。在 GaN 外延片生产中，其半球型导电结构与基材形成均匀热辐射，使薄膜生长速率提高 15%，位错密度降低至 10⁶/cm² 以下。在碳化硅（SiC）功率器件领域，配合闭环温控系统使用，可将外延层厚度偏差控制在 ±2% 以内，支撑 6 英寸以上大尺寸晶圆的规模化生产。